一种微机械陀螺仪

摘要

一种微机械陀螺仪，涉及陀螺仪。设有中间层、上层盖、封装盖帽层，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；驱动电极置于结构的正，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。

主权项

一种微机械陀螺仪，其特征在于设有中间层、上层盖、封装盖帽层，所述中间层设于上层盖和封装盖帽层之间，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；所述驱动电极置于结构的正中央，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，所述驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，所述转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，所述敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；所述敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；所述检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，所述检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；所述上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。