| 发明名称 | 热处理感受器 | ||
| 摘要 | 在一个实施方式中，提供用于热处理的感受器。该感受器包含：外轮缘，该外轮缘环绕且耦合至内盘，该外轮缘具有内边缘及外边缘。该感受器进一步包含一个或更多个结构，该一个或更多个结构用于在基板受该感受器支撑时减低该基板与该感受器之间的接触表面面积。该一个或更多个结构的其中至少一者耦合至该内盘接近该外轮缘的该内边缘。 | ||
| 申请公布号 | CN106463445A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201580023377.1 | 申请日期 | 2015.04.28 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 安哈图·恩戈;朱作明;巴拉苏布拉马尼恩·拉马钱德雷;保罗·布里尔哈特;埃德里克·唐;常安忠;建·彭·陆;卡尔蒂克·萨哈;舒伯特·S·楚;丛者澎;詹姆斯·弗朗西斯·麦克;尼伊·O·妙;凯文·约瑟夫·鲍蒂斯塔;李学斌;黄奕樵;叶祉渊 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于热处理腔室的感受器，包括：外轮缘，所述外轮缘环绕且耦合至内盘，所述外轮缘具有内边缘及外边缘；及一个或更多个结构，所述一个或更多个结构用于在基板受所述感受器支撑时减低所述基板与所述感受器之间的接触表面面积，其中所述一个或更多个结构的其中至少一者耦合至所述内盘接近所述外轮缘的所述内边缘。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||