发明名称 | 一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置 | ||
摘要 | 本发明提供了一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置,包括:底套、掩膜版、套筒、高压电极、功率电源,掩膜版放置在底套内,并通过底套内的三个定位凸台实现紧固与定位;底套与套筒通过螺纹连接;高压电极通过电极插入孔插入套筒内,并连接功率电源高压端;底套连接功率电源低压端;工作气体通过套筒上的进气孔进入套筒内,功率电源通电,工作气体被电离后经掩膜版、底套射出,产生稳定的、与掩膜版上图形相同的图形化等离子体射流。本发明装置和使用方法简单,无需复杂的光刻工艺,可直接产生所需图形的等离子体射流实现对材料的快速加工。 | ||
申请公布号 | CN106455281A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
申请号 | CN201610896201.3 | 申请日期 | 2016.10.13 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 刘景全;王涛;杨斌;陈翔;杨春生 |
分类号 | H05H1/34(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/34(2006.01)I |
代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人 | 徐红银;郭国中 |
主权项 | 一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置,其特征在于,包括:底套、掩膜版、套筒、高压电极、功率电源,其中:所述掩膜版固定于所述底套的底部;所述底套的上端与所述套筒的一端连接;所述高压电极从所述套筒的另一端插入并伸入到所述套筒内;所述套筒的侧壁上开有进气孔,工作气体从所述进气孔进入到所述套筒的内部;所述功率电源的高压端连接所述高压电极,所述功率电源的低压端连接所述底套;工作气体通过所述套筒侧壁上的所述进气孔进入所述套筒内,所述功率电源通电,工作气体被电离后经所述掩膜版、所述底套射出,产生稳定的并与所述掩膜版上图形相同的图形化等离子体射流。 | ||
地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 |