微动台及气浮轴承

摘要

本发明提供一种微动台及气浮轴承，该微动台采用支瓦型静压气浮轴承对微动台上的硅片或玻璃基片进行高精度的支撑及导向工作，采用驱动电机组对微动板进行Z、θx、θy、θz向微行程运动，该支瓦型静压气浮轴承包括轴承定轴及数个环绕定轴均匀布置的瓦块装置，在所述瓦块装置与所述轴承定轴之间通气形成气膜，所述瓦块装置能够随所述微动台一起运动，制造的气膜也能够随之倾斜以起到支撑和导向的作用。

主权项

一种气浮轴承，其设置于微动台的底座与微动板之间，所述微动板能够做Z、θx、θy、θz向微行程运动，其特征在于，包括轴承定轴和若干瓦块装置，所述轴承定轴固定设置于所述底座上，所述微动板上设有一开口，所述轴承定轴远离所述底座的一端穿过所述开口，所述若干瓦块装置周设于所述轴承定轴的外圆周外侧，所述若干瓦块装置均与所述微动板连接，所述瓦块装置能够随所述微动台一起运动，使得所述气浮轴承产生的气膜的方向及厚度随所述微动板位置的改变而改变；所述若干瓦块装置均包括瓦块、第一接头、支座、螺杆和固定座，所述瓦块靠近所述轴承定轴那一面的形状与所述轴承定轴的形状相匹配，所述第一接头设置于所述瓦块上，所述瓦块的远离轴承定轴的那一面与所述支座连接，所述螺杆穿设于所述支座中并与所述支座通过螺纹连接，所述固定座将所述螺杆固定于所述微动板上，所述螺杆在所述固定座上绕其自身的中心轴旋转带动所述瓦块沿所述中心轴方向移动，达到所述瓦块与轴承定轴之间所需的间隙后，将所述支座连接至所述微动板上。