发明名称 一种多晶硅铸锭炉的热场结构
摘要 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括:隔热笼、设置于隔热笼内的坩埚、设置于坩埚的外侧的侧护板、及设置于侧护板与隔热笼之间的侧加热器;侧护板与侧加热器之间设置有石墨硬毡,石墨硬毡连接于侧护板,且石墨硬毡的位置对应于侧加热器的中部设置。该多晶硅铸锭炉的热场结构能够在不延长长晶时间的前提下,使边角长晶的表面比较平整,提高多晶硅铸锭的良率。
申请公布号 CN205974744U 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201620956895.0 申请日期 2016.08.26
申请人 奥特斯维能源(太仓)有限公司 发明人 吴小元;宋江;郭宽新;张斌
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 张海英;林波
主权项 一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括:隔热笼(1)、设置于所述隔热笼(1)内的坩埚(2)、设置于所述坩埚(2)的外侧的侧护板(3)、及设置于所述侧护板(3)与所述隔热笼(1)之间的侧加热器(4);其特征在于,所述侧护板(3)与所述侧加热器(4)之间设置有石墨硬毡(5),所述石墨硬毡(5)连接于所述侧护板(3),且所述石墨硬毡(5)的位置对应于所述侧加热器(4)的中部设置。
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