发明名称 |
一种多晶硅铸锭炉的热场结构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括:隔热笼、设置于隔热笼内的坩埚、设置于坩埚的外侧的侧护板、及设置于侧护板与隔热笼之间的侧加热器;侧护板与侧加热器之间设置有石墨硬毡,石墨硬毡连接于侧护板,且石墨硬毡的位置对应于侧加热器的中部设置。该多晶硅铸锭炉的热场结构能够在不延长长晶时间的前提下,使边角长晶的表面比较平整,提高多晶硅铸锭的良率。 |
申请公布号 |
CN205974744U |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201620956895.0 |
申请日期 |
2016.08.26 |
申请人 |
奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
发明人 |
吴小元;宋江;郭宽新;张斌 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
张海英;林波 |
主权项 |
一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括:隔热笼(1)、设置于所述隔热笼(1)内的坩埚(2)、设置于所述坩埚(2)的外侧的侧护板(3)、及设置于所述侧护板(3)与所述隔热笼(1)之间的侧加热器(4);其特征在于,所述侧护板(3)与所述侧加热器(4)之间设置有石墨硬毡(5),所述石墨硬毡(5)连接于所述侧护板(3),且所述石墨硬毡(5)的位置对应于所述侧加热器(4)的中部设置。 |
地址 |
215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号 |