RF RF SIGNAL GENERATOR AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE COMPRISING THE SAME

摘要

본 발명은 RF 신호 생성기 및 그를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 신호 생성기는, RF 신호를 발생시키는 다수의 발진기들; 상기 RF 신호의 파라미터를 조절하는 파라미터 조절부; 및 상기 발진기들 중 어느 하나를 상기 파라미터 조절부에 연결하되, 상기 파라미터 조절부에 연결되는 발진기를 반복적으로 변경하는 연결부;를 포함할 수 있다.