| 发明名称 | 用于泵浦加工室的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种旨在连接加工室(2)的泵浦设备，它包括干式主真空泵(3)、安装成被该真空泵(3)上的止回阀(13)绕过的辅助泵浦装置(14)、连接到用于清洗该干式主真空泵(13)的装置(11)上并且旨在连接气源(14)的第一阀装置(5)、安装成被辅助泵浦装置(4)上游的止回阀(13)绕过的第二阀装置(6)以及控制装置，该控制装置构造成基于加工室(2)的工作状态控制该第一和第二阀装置(5，6)，以便当加工室(2)处于极限真空工作状态时使第一阀装置(5)至少部分地关闭并使第二阀装置(6)打开。本发明还涉及用于通过这种泵浦设备(1)泵浦加工室(2)的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104541061B | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201380037929.5 | 申请日期 | 2013.07.15 |
| 申请人 | 阿迪克森真空产品公司 | 发明人 | B·赛格特 |
| 分类号 | F04C23/00(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I;F04F1/00(2006.01)I;F04F5/00(2006.01)I;F04C28/02(2006.01)I | 主分类号 | F04C23/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 雷明;马江立 |
| 主权项 | 泵浦设备，该泵浦设备旨在连接至加工室(2)，该泵浦设备包括：‑干式主真空泵(3)，该干式主真空泵具有：入口(8)和出口(9)，布置在入口(8)和出口(9)之间的至少一个泵浦级(10a、10b、10c、10d、10e)，清洗装置(11)，该清洗装置配置成将清洗气体注入所述泵浦级(10a、10b、10c、10d、10e)中，连接至出口(9)的排气导管(12)，和布置在排气导管(12)中的止回阀(13)；‑喷射器(4b)，该喷射器安装在绕过该止回阀(13)的管线上，该喷射器(4b)包括：具有吸气孔(16)、排气孔(17)和至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)的导管(22)，和用于注射动力气体的装置，它用于控制动力气体向至少一个进气喷嘴(18a、18b、18c)中的注入；和‑第一含阀装置(5)，该第一含阀装置连接至该干式主真空泵(3)的清洗装置(11)，并且旨在与气体供应(14)连接，其特征在于，连接至清洗装置(11)的该第一含阀装置(5)还与该用于注射动力气体的装置相连，并且配置成至少部分地切换从干式主真空泵(3)的清洗装置(11)到该喷射器(4b)的用于注射动力气体的装置的气体供应(14)。 | ||
| 地址 | 法国阿讷西 | ||