磁盘用玻璃基板的制造方法

摘要

本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。该方法为具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其是具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，通过对经过所述研磨工序的玻璃坯板的主表面进行研磨而除去在所述研磨工序中附着于侧壁面的氧化锆颗粒，其中，在所述除去工序中，将经过所述研磨工序的玻璃坯板保持在载具的孔部，在对玻璃坯板的侧壁面和载具的孔部的间隙供给了包含选自氧化铈、氧化铝、金刚石、氧化钛、二氧化硅中的研磨磨粒的研磨液的状态下，由于该玻璃坯板的侧壁面和与玻璃坯板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而对所述侧壁面进行研磨。