| 发明名称 | 蒸镀掩模的制造方法、用于制作蒸镀掩模的金属板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。 | ||
| 申请公布号 | CN106460150A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201680001423.2 | 申请日期 | 2016.02.05 |
| 申请人 | 大日本印刷株式会社 | 发明人 | 池永知加雄;中山浩明;池田和成;初田千秋;大内诗子 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23F1/00(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 庞东成 |
| 主权项 | 一种金属板的制造方法，其为用于通过形成2个以上的贯通孔而制造蒸镀掩模的金属板的制造方法，其中，所述金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序，利用X射线光电子分光法实施了由所述板材得到的所述金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下，在利用了X射线光电子分光法的所述金属板的所述第1面的组成分析中，向所述金属板照射的X射线相对于所述第1面的入射角为45度，由所述金属板放出的光电子的接收角为90度。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||