硅片多线切割机

摘要

本发明涉及一种硅片多线切割机。其包括：机架；导轮组件，固定于机架上，导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组导轮上；以及减振装置，位于导轮之间，减振装置包括辊筒结构和用以支撑辊筒结构的支撑结构，辊筒结构与线网相抵接，支撑结构与机架固定连接；其中，晶托组件和减振装置分别安装在线网的两侧。上述硅片多线切割机，一方面，缩短了线网的支点距离，使得线网的振幅变小，从而降低线网从导轮槽中跳出的几率，解决因跳线造成断线的问题；另一方面，线网的线弓相应变小，能够提高线网的切割效率，从而提高了生产效率，减小了硅片出刀口崩边的几率，提高产品的良率。

主权项

一种硅片多线切割机，其特征在于，包括：机架；导轮组件，固定于所述机架上，所述导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对所述导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组所述导轮上；以及减振装置，位于至少一对所述导轮之间，所述减振装置包括辊筒结构和用以支撑所述辊筒结构的支撑结构，所述辊筒结构与所述线网相抵接，所述支撑结构与所述机架固定连接；其中，所述晶托组件和所述减振装置分别安装在所述线网的两侧。