一种微细机械加工用微主轴

摘要

本发明公开了一种微细机械加工用微主轴，涡轮19设置在主轴转子16中间，通过涡轮喷嘴18提供的高速气流驱动，主轴转子16采用前端多孔质静压气体径向轴承13、后端多孔质静压气体径向轴承4径向支承，主轴转子16后端设置有挡板21，采用前端多孔质静压气体止推轴承3、后端多孔质静压气体止推轴承2轴向支承，后端轴承支承件20、涡轮喷嘴18、前端轴承支承件17依次安装在箱体1内，并通过安装板11固定，微刀具15通过热胀冷缩效应夹持在主轴转子16前端。本发明设计合理、结构简单、体积小、制造方便，且转速高、跳动误差小，可作为微机床的微主轴用于微细机械加工，也可用于其它高速高精微机电设备或手动工具机的微主轴等。

主权项

一种微细机械加工用微主轴，包括箱体1、均压板30、后端轴承支承件20、涡轮喷嘴18、前端轴承支承件17、主轴转子16、微刀具15和安装板11，其特征是：所述涡轮19直接在所述主轴转子16中间加工而成，所述涡轮19上的叶片29为规则圆柱面形，且正对涡轮喷嘴18上的小孔7，所述涡轮喷嘴18设置有两圈小孔7用以提供高速气流驱动主轴转子16高速旋转，所述主轴转子16前、后端分别采用前端多孔质静压气体径向轴承13、后端多孔质静压气体径向轴承4径向支承安装，所述主轴转子16后端设置有挡板21，所述挡板21前、后端分别采用前端多孔质静压气体止推轴承3、后端多孔质静压气体止推轴承2轴向支承安装，所述主轴转子16后端还设置有后端轴承排气道33用以排出气流，所述前端多孔质静压气体径向轴承13安装在前端轴承支承件17内，所述前端轴承支承件17周向均布有4个前端气流进气道10，所述后端多孔质静压气体径向轴承4与所述前端多孔质静压气体止推轴承3制成一体的“L”形，并安装在后端轴承支承件20内，所述后端轴承支承件20周向均布有4个后端气流进气道5，所述后端多孔质静压气体止推轴承2通过均压板30提供气流，所述均压板30、后端多孔质静压气体止推轴承2依次安装在箱体1后端，所述后端轴承支承件20、涡轮喷嘴18、前端轴承支承件17依次安装在箱体1内，并通过安装板11、螺钉12固定安装，所述箱体1设置有后端多孔质静压气体止推轴承供气口22及对应的止推轴承进气道28、止推轴承排气道32、止推轴承排气口23、后端多孔质静压气体轴承供气口6、涡轮后端排气口24、喷嘴供气口8、涡轮前端排气口26，前端多孔质静压气体径向轴承供气口9，所述主轴转子16前端轴线处设置有轴向孔14，通过热胀冷缩效应夹持微铣刀、微钻头、微磨棒等微刀具15或其它微执行机构，且轴向孔14深度大于微刀具15刀柄长度，从而可调节微刀具15的悬伸长度。