发明名称 |
直拉单晶炉及其导流筒结构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种直拉单晶炉及其导流筒结构,导流筒结构包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8)。本实用新型提供的导流筒结构,内导流筒与外导流筒之间设置有石墨纸,由于石墨纸的表面光滑,对热量具有极高的反射率。因此,在热量沿内导流筒及外导流筒传递时,受到石墨纸的反射,提高了导流筒结构对热量的反射率,降低了内导流筒温度升高的几率,进而降低了内导流筒向晶棒发射的热量,进而提高了晶棒的生长速率,降低了单晶硅的生产成本。 |
申请公布号 |
CN205974746U |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201620615579.7 |
申请日期 |
2016.06.21 |
申请人 |
晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
发明人 |
陈伟;陈林军;罗才军;肖贵云;李林东;金浩 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李海建 |
主权项 |
一种导流筒结构,其特征在于,包括内导流筒(4)及设置于所述内导流筒(4)的外侧的外导流筒(6);所述内导流筒(4)及所述外导流筒(6)均为石墨导流筒;所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)之间设置有石墨纸(8);所述内导流筒(4)与所述外导流筒(6)的顶部均具有与直拉单晶炉连接的连接部;所述内导流筒(4)的连接部与所述外导流筒(6)的连接部之间设置有固定毡条(3)。 |
地址 |
334100 江西省上饶市经济开发区晶科大道1号 |