发明名称 一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层及其制备方法
摘要 本发明公开了一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层及其制备方法,涉及切削刀具表面涂层技术领域。非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层中Cr、Al、C和N各元素的原子百分含量可变化,并且C元素的原子百分含量为10~30at.%,涂层的厚度为500~3000nm。其制备方法包括:将基体清洗干燥后放入真空镀膜室,并在氩气保护气氛下进行加热;经氩离子进行溅射刻蚀;使用CrAl合金靶和石墨靶作为沉积靶材,N<sub>2</sub>作为反应气体,在氩气与氮气的混合气氛下采用非平衡磁控溅射技术将所述CrAl(C,N)涂层沉积于基体表面。该非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层,具有较高的硬模比,同时硬度在25GPa以上,保证了涂层具有较高的耐磨性能。
申请公布号 CN104532185B 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201410808765.8 申请日期 2014.12.22
申请人 四川大学 发明人 赵海波;鲜广;郭盛;杜昊;梁红櫻;梁雅庭
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人 裴娜
主权项 一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层,其特征在于,所述CrAl(C,N)硬质涂层中C元素含量为10~30at.%,Cr元素含量为5~25at.%,Al元素含量为15~25at.%,N元素含量为30~60at.%。
地址 610065 四川省成都市一环路南一段24号