发明名称 |
一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层及其制备方法,涉及切削刀具表面涂层技术领域。非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层中Cr、Al、C和N各元素的原子百分含量可变化,并且C元素的原子百分含量为10~30at.%,涂层的厚度为500~3000nm。其制备方法包括:将基体清洗干燥后放入真空镀膜室,并在氩气保护气氛下进行加热;经氩离子进行溅射刻蚀;使用CrAl合金靶和石墨靶作为沉积靶材,N<sub>2</sub>作为反应气体,在氩气与氮气的混合气氛下采用非平衡磁控溅射技术将所述CrAl(C,N)涂层沉积于基体表面。该非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层,具有较高的硬模比,同时硬度在25GPa以上,保证了涂层具有较高的耐磨性能。 |
申请公布号 |
CN104532185B |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201410808765.8 |
申请日期 |
2014.12.22 |
申请人 |
四川大学 |
发明人 |
赵海波;鲜广;郭盛;杜昊;梁红櫻;梁雅庭 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 |
代理人 |
裴娜 |
主权项 |
一种非晶结构的CrAl(C,N)硬质涂层,其特征在于,所述CrAl(C,N)硬质涂层中C元素含量为10~30at.%,Cr元素含量为5~25at.%,Al元素含量为15~25at.%,N元素含量为30~60at.%。 |
地址 |
610065 四川省成都市一环路南一段24号 |