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一种真空灭弧室真空度在线监测装置，有置于屏蔽盒（1）中的耦合电容传感器，其特征在于：所述屏蔽盒（1）内还设有温度传感器，所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接，单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块，单片机的输出与显示器相接；设有电压传感器，所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分放大模块相接；所述温度传感器与单片机相接；所述信号调理模块A和所述信号调理模块B消除真空灭弧室工作电压的干扰，通过软件处理增加温度补偿和频谱分析，得到准确的真空度在线监测标定曲线；所述耦合电容传感器获取的耦合电容分压信号通过所述信号调理模块A、所述移相模块A；所述电压传感器获取的系统工作电压信号通过所述信号调理模块B、所述移相模块B实现耦合电容传感器输出信号与真空灭弧室工作电压的相位相同，然后利用差分放大模块实现同相位的两个信号差值放大，消除真空灭弧室工作电压的干扰；所述差分放大模块将所得到差值送至所述单片机，所述温度传感器的检测的温度信号送至所述单片机，与标定值进行比较，获得真空灭弧室准确的真空度，并在显示器上显示；所述真空灭弧室真空度在线监测装置，还包括无线通信接口、无线通信模块，所述无线通信模块采用TC35T通信模块实现远程通信。 |
