| 主权项 |
一种平面磁控溅射靶，其特征在于它是由法兰(1)、压套(2)、通水筒(3)、励磁线圈(4)、电工纯铁套筒(5)、绝缘套筒(6)、水嘴(7)、压板(8)、紧定螺钉(9)、电工纯铁压杆(10)、密封圈(11)、垫圈(12)、绝缘套(13)、压环(14)、螺栓(15)、绝缘隔套(16)、屏蔽罩(17)、开槽沉头螺钉(18)、压紧圈(19)、钕铁硼永久磁铁柱(20)和定位支架(21)所组成，其中定位支架(21)大端向下水平放置于法兰(1)中央的圆形深凹槽中；电工纯铁套筒(5)和定位支架(21)被固定在法兰(1)中央的圆形深凹槽内；钕铁硼永久磁铁柱(20)叠放于绝缘套筒(6)内，钕铁硼永久磁铁柱(20)一端插入定位支架(21)中心的通孔中，并且其插入端端面与法兰(1)接触，压板(8)大端向下水平放置于电工纯铁套筒(5)和绝缘套筒(6)上端，电工纯铁压杆(10)小端向下穿过压板(8)中心部位的通孔插入绝缘套筒(6)中，压紧钕铁硼永久磁铁柱(20)，通过紧定螺钉(9)将压板(8)和电工纯铁压杆(10)紧固；将通水筒(3)直接套在电工纯铁套筒(5)外，并使其一端嵌入法兰(1)的环形凹槽中；水嘴(7)与通水筒(3)通过螺纹连接，接头处采用密封圈(11)密封；对开的阶梯环形压套(2)扣在通水筒(3)的环形凹槽中，通过螺栓(15)将扣在通水筒(3)的环形凹槽中的对开的阶梯环形压套(2)紧固到法兰(1)上，进而将通水筒(3)压紧固定在法兰(1)上，通水筒(3)与法兰(1)接头处以密封圈密封；法兰(1)通过压环(14)压紧，由螺栓(15)紧固到真空室上，法兰(1)与真空室之间以绝缘隔套(16)进行绝缘，螺栓(15)与压环(14)和法兰(1)之间以绝缘套(13)进行绝缘，法兰(1)与绝缘隔套(16)的端面接头处以及绝缘隔套(16)与真空室壁端面接头处均以密封圈(11)密封；靶材放置在法兰(1)另一侧中间的浅凹槽内，通过压紧圈(19)压紧，由开槽沉头螺钉(18)固定在法兰(1)上；屏蔽罩(17)置于靶材四周上方1‑3mm处，通过螺栓(15)固定在真空室壁上，屏蔽罩中心孔的中心线与靶材中心线重合；励磁线圈(4)直接套在通水筒(3)上。 |
