发明名称 |
场效应晶体管 |
摘要 |
场效应晶体管(GaN类HFET)包括:栅极电极(13);栅极电极焊盘(16);连接栅极电极(13)的一端部与栅极电极焊盘(16)的第一配线(22);连接栅极电极(13)的另一端部与栅极电极焊盘(16)的第二配线(23);和与第一配线(22)连接,能够调节第一配线(22)的阻抗的电阻元件(17)。 |
申请公布号 |
CN106463411A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201580025928.8 |
申请日期 |
2015.02.20 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
铃木贵光;矶部雅哉;久保胜 |
分类号 |
H01L21/338(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/812(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/338(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳;徐飞跃 |
主权项 |
一种场效应晶体管,其特征在于,包括:具有异质结的GaN类层叠体(5);以在第一方向上延伸的方式形成在所述GaN类层叠体(5)上的漏极电极(11);源极电极(12),其以在所述第一方向上延伸的方式形成在所述GaN类层叠体(5)上,并且形成为在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述漏极电极(11)隔开预定的间隔;俯视时形成在所述漏极电极(11)与所述源极电极(12)之间的栅极电极(13);在所述GaN类层叠体(5)上以覆盖所述栅极电极(13)的方式形成的绝缘层(8);形成在所述绝缘层(8)上的栅极电极焊盘(16);连接所述栅极电极(13)的一端部与所述栅极电极焊盘(16)的第一配线(22、222、322);连接所述栅极电极(13)的另一端部与所述栅极电极焊盘(16)的第二配线(23、223、323);和能够调节所述第一配线(22、222、322)和所述第二配线(23、223、323)中的至少一个配线的阻抗的阻抗调节部(17、217、317)。 |
地址 |
日本大阪府 |