用超声波进行的基于仿真的缺陷分析

摘要

本发明涉及一种用于检查工件(12)的检查设备(10)，其中，检查设备(10)具有用于实施对工件(12)的超声波测量的测量装置(16)以及分析装置(18)。本发明的技术问题在于，对工件(12)中的结构元件(22)如缺陷进行量化。分析装置(18)根据本发明被设成，根据测量装置(16)的超声波测量数据(M)，借助重建方法求取工件(12)的至少一个内部结构元件(22)的数目(N)和位置(X1,X2)，并且使用模拟器(30)根据所求取的每个位置(X1,X2)借助用于至少一个结构元件(22)的模型(28)来求取每个结构元件(22)的至少一个特性，方法是模拟所述超声波测量并且适配每个模型(28)。

主权项

一种用于检查工件(12)的方法，该方法包括以下步骤：‑通过向工件(12)中发送超声波(20)来进行超声波检测并获取对工件(12)的超声波测量值(M)，‑根据超声波测量值(M)，借助预定的重建方法生成工件(12)的内部结构(14)的重建(26)，‑在所述重建(26)中求取内部结构(14)的至少一个结构元件(22)的数目(N)和位置(X1,X2)，‑按照所述位置(X1,X2)，在工件(12)的仿真模型(32)中定位每个结构元件(22)的模型(28)，其中，每个模型(28)均包括可调整的至少一个模型参数(34)，所述模型参数描述了所述结构元件(22)的特性，‑借助仿真模型(32)来模拟所述超声波检测并由此生成模拟值(S)，‑求取模拟值(S)与超声波测量值(M)之间的差值(38)，‑根据所述差值(38)，按照设成用于减小所述差值的优化规则来改变每个模型参数(34)。