| 发明名称 | 针对较好的均匀性和增加的边缘寿命的平坦边缘设计 | ||
| 摘要 | 描述一种用以在基板上沉积层的边缘排除掩模。边缘排除掩模包括具有边缘的边缘区域，其中边缘适于具有20°或更小的相对于基板的倾斜角。 | ||
| 申请公布号 | CN106460147A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201480079601.4 | 申请日期 | 2014.06.13 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | S·劳;R·林德伯格;M·哈尼卡 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 侯颖媖 |
| 主权项 | 一种用以在基板(100)上沉积层的边缘排除掩模(240)，所述边缘排除掩模包括具有边缘(200)的边缘区域(201)，其中所述边缘适于具有20°或更小的相对于所述基板的倾斜角。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||