主权项 |
微机械构件,具有:保持件(10);关于保持件(10)的可调部件(12),该可调部件(12)至少通过悬挂结构(16,50,70)悬挂在所述保持件(10)上;和至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d);其中,所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)这样被设计,使得借助所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)的运行,所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个第一子区段(26a)能进行沿第一振动轴线(28a)的第一谐振运动,并且所述悬挂结构(16,50,70)的所述至少一个第一子区段(26a)和/或至少一个第二子区段(26b)能进行沿相对于所述第一振动轴线(28a)倾斜地定向的第二振动轴线(28b)的第二谐振运动中,由此能这样激励所述悬挂结构(16,50,70)的固有振动(S1至S3,H1至H2),使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行所述固有振动(S1至S3,H1至H2)的悬挂结构(16,50,70)而进行围绕第一转动轴线(34a)的共振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动;其特征在于,所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个被激励的固有振动(S1‑S3,H1至H2)的至少一个振动节点(P2,P31,P32,PH11至PH23)上。 |