发明名称 具有两个振动轴线的微机械构件和用于微机械构件的制造方法
摘要 本发明涉及一种具有能关于保持件(10)调整的部件(12)的微机械构件,所述可调部件(12)至少通过悬挂结构(16)悬挂在所述保持件(10)上,其中,所述悬挂结构(16)的固有振动可以这样激励,使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行固有振动的悬挂结构(16)来进行围绕第一转动轴线(34a)的谐振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动,其中,所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16)的至少一个被激励的固有振动的至少一个振动节点上。此外,本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法。
申请公布号 CN106458568A 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201580031111.1 申请日期 2015.05.06
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 S·平特
分类号 B81B3/00(2006.01)I 主分类号 B81B3/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 微机械构件,具有:保持件(10);关于保持件(10)的可调部件(12),该可调部件(12)至少通过悬挂结构(16,50,70)悬挂在所述保持件(10)上;和至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d);其中,所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)这样被设计,使得借助所述至少一个促动器装置(22a,22b,24,40a至40d)的运行,所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个第一子区段(26a)能进行沿第一振动轴线(28a)的第一谐振运动,并且所述悬挂结构(16,50,70)的所述至少一个第一子区段(26a)和/或至少一个第二子区段(26b)能进行沿相对于所述第一振动轴线(28a)倾斜地定向的第二振动轴线(28b)的第二谐振运动中,由此能这样激励所述悬挂结构(16,50,70)的固有振动(S1至S3,H1至H2),使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行所述固有振动(S1至S3,H1至H2)的悬挂结构(16,50,70)而进行围绕第一转动轴线(34a)的共振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动;其特征在于,所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16,50,70)的至少一个被激励的固有振动(S1‑S3,H1至H2)的至少一个振动节点(P2,P31,P32,PH11至PH23)上。
地址 德国斯图加特