| 发明名称 |
ELECTROCONDUCTIVE THIN FILM COATING LIQUID FOR FORMING ELECTROCONDUCTIVE THIN FILM FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND METHOD FOR PRODUCING FIELD-EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
본 발명은, 인듐 및 주석을 함유하는 금속 산화물; 및 금을 함유하는 전도성 박막을 제공한다. |
| 申请公布号 |
KR101705956(B1) |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
| 申请号 |
KR20147027310 |
申请日期 |
2013.03.14 |
| 申请人 |
가부시키가이샤 리코 |
发明人 |
마츠모토 신지;우에다 나오유키;나카무라 유키;아베 유키코;다카다 미키코;소네 유지;사오토메 료이치 |
| 分类号 |
H01L29/786;G02F1/1368;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/417 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
