电弧蒸发源

摘要

本发明提供一种电弧蒸发源，能够将电弧点稳定地保持在靶材的前端面，而且，能够实现装置的小型化。电弧蒸发源(1)包括：通过电弧放电而从前端面(3a)开始熔解并蒸发的靶材(3)；以及被配置在从靶材(3)的侧面(3b)朝向该靶材(3)的半径方向隔开距离的位置的至少一个磁铁(4)。磁铁(4)被配置成：形成在如下范围满足以下的条件a)以及b)的磁场(MF1)，其中，所述范围是处于沿着靶材(3)的侧面(3b)并且在靶材(3)的轴向上从靶材(3)的前端面(3a)起10mm为止的范围，条件a)为磁场的磁力线相对于靶材(3)的侧面(3b)所成的角度为45度以下，条件b)为在该磁力线的强度中的靶材(3)的轴向成分成为200G以上。

主权项

一种电弧蒸发源，其特征在于包括：靶材，通过电弧放电而从前端面开始熔解并蒸发；以及至少一个磁铁，被配置在从与所述靶材的所述前端面的周缘连续的侧面朝向该靶材的半径方向隔开距离的位置，其中，所述磁铁被配置成：形成在如下范围满足以下的条件a)以及条件b)的磁场，其中，所述范围是处于沿着所述靶材的所述侧面并且在垂直于所述前端面的所述靶材的轴向上从所述靶材的所述前端面起10mm为止的范围，所述条件a)为磁场的磁力线相对于所述靶材的所述侧面的角度成为45度以下，所述条件b)为该磁力线的强度中的所述靶材的轴向成分成为200G以上。