具有顺应性远程中心的质量转移工具操纵器组件

摘要

本发明公开了用于将微型器件或微型器件阵列转移到衬底或者从衬底转移微型器件或微型器件阵列的系统和方法。在一个实施方案中，远程中心机器人允许微型拾取阵列和目标衬底之间的即时对准。远程中心机器人可以包括多个对称联动装置，这些联动装置独立移动并且共享远程旋转中心。在一个实施方案中，远程旋转中心可以定位在微型拾取阵列的表面处，以防止在转移期间对微型器件阵列造成损坏。

主权项

一种远程中心机器人，包括：第一联动装置，所述第一联动装置具有沿第一轴线通过具有第一长度的第一连杆臂分开的第一上接合部和第一下接合部；第二联动装置，所述第二联动装置具有第二上接合部和第二下接合部，其中所述第二上接合部相对于所述第一下接合部固定，并且其中所述第二上接合部和所述第二下接合部沿第二轴线通过具有等于所述第一长度的第二长度的第二连杆臂分开。