发明名称 |
一种TiNC膜的退镀液及退镀工艺 |
摘要 |
本发明适用于镀膜处理技术领域,提供了一种TiNC膜的退镀液,所述退镀液的溶剂为去离子水或蒸馏水,所述退镀液的溶质的各组分及其含量包括:氯化铵1‑6g/L,氯化铈0.01‑0.5g/L,表面活性剂5‑30g/L,防腐络合剂3‑35g/L,缓蚀剂1‑30g/L。本发明还提供了一种TiNC膜的退镀液的退镀工艺。本发明提供的TiNC膜的退镀液,无毒副作用。在对工件进行退镀处理时,不仅可将工件表面的TiNC膜彻底去除,又不会对工件的基底造成损害。 |
申请公布号 |
CN106435616A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201610886164.8 |
申请日期 |
2016.10.10 |
申请人 |
深圳大学 |
发明人 |
向雄志;胡远立;程淼;黄琪 |
分类号 |
C23G1/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23G1/26(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 |
代理人 |
王利彬 |
主权项 |
一种TiNC膜的退镀液,其特征在于,所述退镀液的溶剂为去离子水或蒸馏水,所述退镀液的溶质的各组分及其含量包括:<img file="FDA0001127621930000011.GIF" wi="853" he="527" /> |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区南海大道3688号 |