发明名称 一种TiNC膜的退镀液及退镀工艺
摘要 本发明适用于镀膜处理技术领域,提供了一种TiNC膜的退镀液,所述退镀液的溶剂为去离子水或蒸馏水,所述退镀液的溶质的各组分及其含量包括:氯化铵1‑6g/L,氯化铈0.01‑0.5g/L,表面活性剂5‑30g/L,防腐络合剂3‑35g/L,缓蚀剂1‑30g/L。本发明还提供了一种TiNC膜的退镀液的退镀工艺。本发明提供的TiNC膜的退镀液,无毒副作用。在对工件进行退镀处理时,不仅可将工件表面的TiNC膜彻底去除,又不会对工件的基底造成损害。
申请公布号 CN106435616A 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201610886164.8 申请日期 2016.10.10
申请人 深圳大学 发明人 向雄志;胡远立;程淼;黄琪
分类号 C23G1/26(2006.01)I 主分类号 C23G1/26(2006.01)I
代理机构 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 代理人 王利彬
主权项 一种TiNC膜的退镀液,其特征在于,所述退镀液的溶剂为去离子水或蒸馏水,所述退镀液的溶质的各组分及其含量包括:<img file="FDA0001127621930000011.GIF" wi="853" he="527" />
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