用于石墨舟设备的硅片取放装置

摘要

本发明公开了一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。该用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括支架，所述支架上设置有托架，所述托架用于放置石墨舟，所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手，所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒，该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时，只需将石墨舟放置在托架的指定位置，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，取缔人工单调、繁复的体力劳动，大大降低了工人的劳动强度，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率。适合在硅片加工设备领域推广应用。

主权项

用于石墨舟设备的硅片取放装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒(5)内；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上连接有用于使移动平台(301)来回移动的第一驱动装置(304)，所述移动平台(301)的上表面设置有第二滑槽(305)，所述第二滑槽(305)与第一滑槽(303)互相垂直，所述第二滑槽(305)内设置有第一滑块(306)，所述第一滑块(306)沿第二滑槽(305)来回滑动，所述第二滑槽(305)内设置有用于使第一滑块(306)来回移动的第二驱动装置(307)，所述第一滑块(306)上固定有第一支撑板(308)，所述第一支撑板(308)水平设置，所述第一支撑板(308)的下表面固定有第一U形支撑架(309)，所述第一支撑板(308)与第一U形支撑架(309)围成第一通孔(310)，所述移动平台(301)穿过第一通孔(310)，所述第一U形支撑架(309)的底部固定有第二支撑板(311)，所述第二支撑板(311)竖直设置，所述第二支撑板(311)的一侧设置有第一支撑杆(312)，所述第二支撑板(311)上设置有用于使第一支撑杆(312)上下移动的第三驱动装置(313)，所述第一支撑杆(312)上固定有第一支撑架(314)，所述第一支撑架(314)上设置有第一转动轴(315)，所述第一转动轴(315)通过轴承固定在第一支撑架(314)上，所述第一支撑架(314)上设置有用于使第一转动轴(315)转动的第四驱动装置(316)，所述第一转动轴(315)的末端连接有硅片吸取装置(317)；所述硅片吸取装置(317)包括底座(31701)，所述底座(31701)的一侧表面固定在第一转动轴(315)的末端，底座(31701)的另一侧表面固定有多个卡板(31702)，多个卡板(31702)依次平行设置，相邻的两个卡板(31702)之间的间距与石墨舟的两个相邻的石墨板的间距相同，且卡板(31702)的数量与石墨舟的石墨板数量相同，每个卡板(31702)上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔(31703)，每个固定孔(31703)内设置有一个固定板(31704)，所述固定板(31704)的厚度小于卡板(31702)的厚度，每个通孔中心设置有吸盘(31705)，吸盘(31705)上连接有多个弹簧(31706)，多个弹簧(31706)与多个固定孔(31703)一一对应，弹簧(31706)的一端固定在吸盘(31705)上，另一端固定在固定板(31704)上，所述卡板(31702)的一侧表面设置有多个导线槽(31707)，导线槽(31707)的数量与通孔的数量相同，每个导线槽(31707)与一个通孔连通，导线槽(31707)内设置有压缩空气管(31708)，压缩空气管(31708)的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘(31705)相连，所述吸盘(31705)、多个弹簧(31706)、每个固定孔(31703)内的固定板(31704)、每个导线槽(31707)内的压缩空气管(31708)均位于卡板(31702)的两个表面组成的间隙空间内；所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同。