一种有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材及其加工方法

摘要

本发明提供一种有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材及其加工方法，有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材的成分为铜、锰、镍和钴，具体加工方法为：将铜粉、锰粉、镍粉和钴粉混合均匀后，经冷等静压压成块状，真空烧结熔炼，得到铜锰基合金铸锭；将铜锰基合金铸锭热锻开坯，进行60‑90％冷轧变形，再在大气或者真空条件下经过400‑600℃再结晶热处理，保温2‑3h，退火处理，得到原始坯料；对原始坯料使用搅拌摩擦焊加工进行晶粒细化，得到有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材。本发明制备的有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材中平均晶粒尺寸小于5μm，寿命不低于3000kwh，且制备方法简单，成本低廉，适合大规模工业化生产。

主权项

一种有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材，其特征在于：所述有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材的成分为铜、锰、镍和钴，所述有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材的各成分按照原子分数为锰0.5‑2％，镍3‑5％，钴1.5‑3％，其余为铜，总量为100％，所述有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材经搅拌摩擦焊加工的方法制得，所述有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材中平均晶粒尺寸小于5μm，所述有超细晶组织的长寿命铜锰基合金靶材的寿命不低于3000kwh。