一种端面自旋转清洗机械手系统

摘要

本发明实施例提供了一种端面自旋转清洗机械手系统，包括机械手和清洗毛刷，机械手包括立柱、摆臂、端面旋转机构和晶片吸附机构；所述端面旋转机构主要包括电机、轴承、摆臂上盘和摆臂下盘，由电机带动安装在轴承上的摆臂上盘和摆臂下盘旋转，进一步带动固定于摆臂下盘下方的晶片吸附机构与晶片接触的端面旋转，机械手运动至清洗毛刷位置则可实现清洗。本发明通过机械手端面自旋转进行清洗，无需毛刷旋转，可有效的节省清洗毛刷的安装空间，简化了清洗毛刷结构，使机械手整体结构更加简单，动作更加简便，并且提升了稳定性。

主权项

一种端面自旋转清洗机械手系统，包括机械手和清洗毛刷(8)；所述机械手包括立柱(1)和摆臂(2)，所述摆臂(2)安装在所述立柱(1)上；其特征在于，还包括端面旋转机构和晶片吸附机构，其中：所述端面旋转机构包括电机(3)、轴承(4)、摆臂上盘(5)和摆臂下盘(6)；所述电机(3)安装在所述摆臂(2)上，所述轴承(4)安装在所述摆臂(2)前端，所述电机(3)带动所述轴承(4)转动；所述摆臂上盘(5)安装在所述轴承(4)上，随所述轴承(4)旋转；所述摆臂下盘(6)与摆臂上盘(5)连接，随所述摆臂上盘(5)旋转；所述晶片吸附机构与所述摆臂下盘(6)的下盘面固定连接，所述晶片吸附机构包括机械手端面和在所述机械手端面后的气道，所述机械手端面用于接触晶片并随所述摆臂下盘(6)旋转；所述晶片吸附机构还包括抽真空气路，所述抽真空气路一端连接外部真空设备，另一端连通所述气道抽气；所述清洗毛刷(8)固定设置。