发明名称 |
用于计量应用的测量探测单元 |
摘要 |
本发明提供了一种用于与定位器(300)的探头(200)连接的尺寸测量探测单元(100),包括:测量探测器(150),用于物体(400)的尺寸测量;旋转接头(170),一体形成到测量探测器(150)中;以及探测单元接口(120),用于反复能拆卸地连接至探头(200),其中,探测单元接口(120)由旋转接头(170)旋转地连接至测量探测器(150)。 |
申请公布号 |
CN106461384A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201580018629.1 |
申请日期 |
2015.04.08 |
申请人 |
尼康计量公司 |
发明人 |
弗兰克·蒂斯;汉斯·蒂勒曼斯;拉夫·尼森;劳伦斯·范·霍伦比克 |
分类号 |
G01B21/04(2006.01)I;G01B5/012(2006.01)I;G01B7/012(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B21/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
陈鹏;李静 |
主权项 |
一种用于与定位器(300)的探头(200)连接的尺寸测量探测单元(100),包括:‑测量探测器(150),用于物体(400)的尺寸测量;‑旋转接头(170),不能拆卸地一体形成到所述测量探测器(150)中;以及‑探测单元接口(120),用于反复能拆卸地连接至所述探头(200),其中,所述探测单元接口(120)由所述旋转接头(170)旋转地连接至所述测量探测器(150)。 |
地址 |
比利时鲁汶 |