一种密舟多晶硅太阳能电池的扩散工艺

摘要

本发明公开了一种密舟多晶硅太阳能电池的扩散工艺，包括以下步骤：(1)升温；在120mba～220mba气压下进行步骤(2)～(4)：(2)氧化；(3)扩散；(4)高温推进；(5)洗气；(6)退火。该扩散工艺能显著提高密舟多晶硅太阳能电池方阻均匀性，且具有成本低等优点。

主权项

一种密舟多晶硅太阳能电池的扩散工艺，包括以下步骤：(1)升温：将密舟承载的多晶硅片送入扩散炉中，温度升至780℃～800℃；(2)氧化：温度稳定在780℃～800℃，将管内压力抽至120mba～220mba，以200sccm～500sccm的速率通入氧气，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入时间为4min～8min；(3)扩散：温度稳定在780℃～800℃，管内压力稳定在120mba～220mba，以150sccm～220sccm的速率通入小氮，以200sccm～500sccm的速率通入氧气，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入时间为8min～15min；(4)高温推进：将温度升至820℃～840℃，管内压力稳定在120mba～220mba，以200sccm～500sccm的速率通入氧气，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入时间为8min～15min；(5)洗气：洗气过程为：保持温度不变，将管内压力升至常压，然后再抽至300～500mbar，以2000sccm～3000sccm的速率通入大氮，通入时间为100s；以所述洗气过程为一个洗气周期进行重复洗气；(6)退火：将管内压力恢复常压，降温处理后将多晶硅片取出。