一种具体石墨烯散热结构的功率器件的制造方法

摘要

本发明提供了一种具体石墨烯散热结构的功率器件的制造方法，包括（1）提供一陶瓷基板，在基板上通过光刻工艺形成同心散热环的下半部；（2）沉积碳化硅以包围所述下半部，并进行平坦化，以露出所述下半部的顶部；（3）涂覆石墨烯层，并进行图案化，形成相互交叉的石墨烯连接筋；（4）在石墨烯连接筋上部通过光刻工艺形成同心散热环的上半部，形成完整的同心散热环。再进行碳化硅覆盖和挖槽等以形成散热良好的散热结构。

主权项

一种具体石墨烯散热结构的功率器件的制造方法，包括：（1）提供一陶瓷基板，在基板上通过光刻工艺形成不连续的同心散热环的下半部；（2）沉积碳化硅以包围所述下半部，并进行平坦化，以露出所述下半部的顶部；（3）涂覆石墨烯层，并进行图案化，形成与所述同心散热环相互交叉的石墨烯连接筋；（4）在石墨烯连接筋上部通过光刻工艺形成同心散热环的上半部，形成完整的同心散热环；（5）用碳化硅材料覆盖所述上半部，进行平坦化形成完整的碳化硅材料；（6）用机械方法进行开槽，形成凹槽，所述凹槽的底部露出基板；（7））在凹槽底部形成石墨烯层并在所形成的散热结构的外侧涂覆一层不连续的石墨烯环，构成相互电隔离的石墨烯枝状结构；（8）用绝缘导热胶固定功率元件，并通过导线将所述功率元件与所述枝状结构电连接，并用散热树脂进行封装，灌封凹槽，最终形成具体石墨烯散热结构的功率器件。