| 发明名称 | 一种样品承载台及双束系统电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种双束系统电子显微镜，包括：离子切割机、电子摄像机、样品承载台及驱动机构；其中，所述离子切割机的切割方向、所述电子摄像机的光轴方向之间存在夹角，且均朝向所述样品承载台；所述样品承载台包括样品插槽，所述样品插槽具有第一预定角度的斜角，用于以所述第一预定角度收纳具有断裂面的样品；所述离子切割机用于以削平所述样品断裂面的方向，对所述样品断裂面进行加工，所述驱动机构用于至少在所述样品的断裂面被加工后，驱动所述样品承载台旋转，进而带动所述样品旋转至所述样品的断裂面正对且垂直于所述电子摄像机的光轴。本发明还提供一种双束系统电子显微镜用样品承载台。 | ||
| 申请公布号 | CN106449340A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201610737674.9 | 申请日期 | 2016.08.26 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 杜海英 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人 | 钟子敏 |
| 主权项 | 一种双束系统电子显微镜，其特征在于，包括：离子切割机、电子摄像机、样品承载台及驱动机构；其中，所述离子切割机的切割方向、所述电子摄像机的光轴方向之间存在夹角，且均朝向所述样品承载台；所述样品承载台包括样品插槽，所述样品插槽具有第一预定角度的斜角，用于以所述第一预定角度收纳具有断裂面的样品；所述离子切割机用于以削平所述样品断裂面的方向，对所述样品断裂面进行加工，所述驱动机构用于至少在所述样品的断裂面被加工后，驱动所述样品承载台旋转，进而带动所述样品旋转至所述样品的断裂面正对且垂直于所述电子摄像机的光轴。 | ||
| 地址 | 518006 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||