发明名称 |
加热装置 |
摘要 |
本发明涉及一种加热装置。本发明提供的一种加热装置,包括:外壳、提供热能的灯管和放置基板的支撑件,灯管配置在外壳内,支撑件设置在外壳侧壁上,还包括隔离件和阻挡热能传递到基板的阻挡件,隔离件设置在基板与灯管之间,灯管发出的热能能够穿过隔离件传递到基板上,阻挡件设置在隔离件上。本发明的有益效果是:本发明提供的加热装置的灯管配置与温度控制简单、低成本、均温性好,适于均匀地加热基板,使被加热的基板具有良好的整体均温性。 |
申请公布号 |
CN106435529A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201510487809.6 |
申请日期 |
2015.08.10 |
申请人 |
英属开曼群岛商精曜有限公司 |
发明人 |
曹承育 |
分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
代理机构 |
北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 |
代理人 |
冯靖;李知伦 |
主权项 |
一种加热装置,包括:外壳、提供热能的灯管和放置基板的支撑件,所述灯管配置在所述外壳内,所述支撑件设置在所述外壳的侧壁上,其特征在于:还包括隔离件和阻挡热能传递到所述基板的阻挡件,所述隔离件设置在所述基板与所述灯管之间,所述灯管发出的热能能够穿过所述隔离件传递到所述基板上,所述阻挡件设置在所述隔离件上。 |
地址 |
开曼群岛大开曼岛KY1-11122804号邮箱板球广场杨柳楼4楼 |