| 发明名称 | 一种类金刚石碳基薄膜的制作方法 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种类金刚石碳基薄膜的制作方法，包括：制作掺杂有预设元素的碳源部件；将所述碳源部件放入溅射腔体内；通入电离气体和氢气并密封，并调节所述电离气体和氢气的比例以及溅射功率和溅射速率；在基材的表面沉积掺杂有所述预设元素的类金刚石碳基薄膜。本申请提供的上述类金刚石碳基薄膜的制作方法，能够改善DLC薄膜在潮湿环境下的摩擦学性能和环境敏感性，将表面水滴角从70°提升至90°以上。 | ||
| 申请公布号 | CN106435505A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201611035397.3 | 申请日期 | 2016.11.15 |
| 申请人 | 信利光电股份有限公司 | 发明人 | 朱得菊;吴德生;卓少钟;陈立;覃祚峰;陈建才 |
| 分类号 | C23C14/46(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 罗满 |
| 主权项 | 一种类金刚石碳基薄膜的制作方法，其特征在于，包括：制作掺杂有预设元素的碳源部件；将所述碳源部件放入溅射腔体内；通入电离气体和氢气并密封，并调节所述电离气体和氢气的比例以及溅射功率和溅射速率；在基材的表面沉积掺杂有所述预设元素的类金刚石碳基薄膜。 | ||
| 地址 | 516600 广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋 | ||