一种对位贴合设备

摘要

本发明涉及液晶面板制造技术领域，公开一种对位贴合设备，该对位贴合设备包括：底座；与底座相对设置的基台；设置于底座和基台之间的缓冲件；设置于底座和基台之间的驱动件；设置于基台的支撑面的对合单元；设置于基台以检测基台沿垂直于支撑面方向的振动信息的振动传感器；与驱动件、振动传感器以及对合单元信号连接的控制器，控制器用于：当振动传感器采集的振动信息位于控制器设定的阈值范围内时，控制驱动件为基台提供与其振动方向相反的作用力，以平衡基台受到的振动力；当振动传感器采集的振动信息超出控制器设定的阈值范围时，控制对合单元停止动作。该对位贴合设备能够控制基台在垂直方向的振动，从而可以提高对位精度。

主权项

一种对位贴合设备，其特征在于，包括：底座；与所述底座相对设置的基台，所述基台背离所述底座的一侧表面形成支撑面；设置于所述底座和基台之间的缓冲件；设置于所述底座和基台之间的驱动件；设置于所述基台的支撑面的对合单元；设置于所述基台以检测所述基台沿垂直于所述支撑面方向的振动信息的振动传感器；与所述驱动件、所述振动传感器以及所述对合单元信号连接的控制器，所述控制器用于：当所述振动传感器采集的振动信息位于所述控制器设定的阈值范围内时，控制所述驱动件根据形成的调节信号为所述基台提供与其振动方向相反的作用力，以平衡所述基台受到的振动力；当所述振动传感器采集的振动信息超出所述控制器设定的阈值范围时，控制所述对合单元根据产生的制动信号停止动作；所述对合单元包括：固定于所述基台的支撑面的定位架；固定于所述定位架的定贴合板；安装于所述定位架的动贴合板；驱动所述动贴合板动作的第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述控制器信号连接；安装于所述定位架、用于检测所述动贴合板行程的位置检测装置；支撑机构，当所述动贴合板相对于所述定贴合板的行程超过设定位置时，所述支撑机构用于支撑于所述定贴合板与所述动贴合板之间。