一种COA基板及其制造方法、液晶面板

摘要

本发明提供了一种COA基板，所述衬底基板上形成栅极金属层、栅极绝缘层、有源层、源漏极金属层、源漏极，源漏极金属层上形成第一钝化层；在第一钝化层上沉积色阻层，第一钝化层以及色阻层上分别开有第一通孔、第二通孔，色阻层上形成有第二钝化层，第二钝化层位于第二通孔上开有第三通孔，第三通孔的孔径大于第一通孔的孔径，使得第一钝化层以及第二钝化层之间形成错开区域；第一通孔、第二通孔以及第三通孔组成导通孔，在第二钝化层上、导通孔以及裸露出的源漏极金属层上设置有透明导电层。本发明还提供了一种COA基板的制造方法以及液晶面板，与现有技术相比，开口率得到提升，而且还增加接触孔面积，提高了可靠性，同时合格率也得到提高。

主权项

一种COA基板，包括衬底基板，所述衬底基板上上依次形成有栅极金属层、栅极绝缘层、有源层和源漏极金属层(1)，所述源漏极金属层(1)图形化后形成源漏极，其特征在于：所述源漏极金属层(1)上形成有第一钝化层(2)；所述第一钝化层(2)上设置有色阻层(3)，所述第一钝化层(2)以及所述色阻层(3)上分别开有第一通孔(4)和第二通孔(5)，所述第一通孔(4)与所述第二通孔(5)连通，在所述色阻层(3)上形成有第二钝化层(6)，所述第二钝化层(6)对应所述第二通孔(5)开有第三通孔(7)，所述第三通孔(7)的孔径大于所述第一通孔(4)的孔径，使得所述第一钝化层(2)和所述第二钝化层(6)之间形成错开区域(11)；所述第一通孔(4)、第二通孔(5)以及第三通孔(7)组成导通孔(8)，所述第二钝化层(6)上、所述导通孔(8)内壁以及通过所述导通孔(8)裸露出的所述源漏极金属层(1)上设置有透明导电层(9)。