发明名称 |
感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置 |
摘要 |
根据本发明提供一种含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。式中,A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团,R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1~10的饱和烷基,R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1~10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1~10的不饱和烷基,a和b表示满足a+b=3的0~3的整数,c和d表示满足c+d=3的0~3的整数,m和n表示0~2的整数且m+n≠0。A(Si(R1)<sub>a</sub>(OR2)<sub>b</sub>)<sub>m</sub>(Si(R3)<sub>c</sub>(OR4)<sub>d</sub>)<sub>n</sub>(1)。 |
申请公布号 |
CN106462061A |
申请公布日期 |
2017.02.22 |
申请号 |
CN201580024289.3 |
申请日期 |
2015.03.25 |
申请人 |
住友电木株式会社 |
发明人 |
池田拓司 |
分类号 |
G03F7/023(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/023(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳;程采 |
主权项 |
一种感光性树脂组合物,其特征在于:含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C),A(Si(R1)<sub>a</sub>(OR2)<sub>b</sub>)<sub>m</sub>(Si(R3)<sub>c</sub>(OR4)<sub>d</sub>)<sub>n</sub> (1)式中,A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团,R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1~10的饱和烷基,R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1~10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1~10的不饱和烷基,a和b表示满足a+b=3的0~3的整数,c和d表示满足c+d=3的0~3的整数,m和n表示0~2的整数且m+n≠0。 |
地址 |
日本东京都 |