一种通用版图临近效应表征模型及其提取方法

摘要

本发明公开了一种通用版图临近效应表征模型及其提取方法，该方法包括如下步骤：设计LPE模型的器件结构；测量与LPE模型相关的数据；引入与陪衬多晶硅尺寸相关的函数，建立LPE模型；调整所建立的LPE模型的参数，对与陪衬多晶硅尺寸相关的LPE模型进行曲线拟合；若拟合结果满足要求，则对所建立的LPE模型进行模型验证；本发明通过调整与陪衬多晶硅尺寸相关的参数，可以使得该模型更准确表征与器件在不同周边环境下的特性，从而建立更为精确且更实用的模型。

主权项

一种通用版图临近效应表征模型，其特征在于：在原有模型中加入与陪衬多晶硅尺寸相关的函数，通过调整模型中与陪衬多晶硅尺寸相关的模型参数，以对该模型进行曲线拟合，从而建立更为精确的器件模型。