一种提高过渡性保护区域尺寸精度的方法

摘要

本发明提供了一种提高过渡性保护区域尺寸精度的方法，包括步骤：清洗触控面板的内表面，直至该表面的水滴角小于20°；将过渡性保护光阻材料喷涂在触控面板内表面上；喷涂速度为50～200mm/s，喷涂负压为1～10kPa；经过软烤、曝光、硬烤工艺后进行显影，在触控面板表面的过渡性保护光阻材料形成覆盖被保护区域的图案；覆盖在被保护区域之上的过渡性保护光阻材料的膜厚为1～10μm；纵截面的上表面宽度大于底面宽度。本发明采用喷涂过渡性保护光阻材料层，再经过黄光制程(软烤、曝光、硬烤、显影)制备出的过渡性保护层偏移公差为±5μm，极大的提高了过渡性保护区域的尺寸精度。

主权项

一种提高过渡性保护区域精度的方法，其特征在于，包括步骤：A、清洗：清洗触控面板的内表面，直至该表面的水滴角小于20°；B、喷涂过渡性保护光阻材料层：将过渡性保护光阻材料喷涂在触控面板内表面上；喷涂速度为50～200mm/s，喷涂负压为1～10kPa；C、显影：经过软烤、曝光、硬烤工艺后进行显影，在触控面板表面的过渡性保护光阻材料形成覆盖被保护区域的图案；此时，覆盖在被保护区域之上的过渡性保护光阻材料的膜厚为1～10μm；其纵截面的上表面宽度大于底面宽度，上表面是过渡性保护光阻材料对着曝光灯照射方向的表面。