| 发明名称 | 一种金属图形的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种金属图形的制备方法，包括：S1 在目标材料上覆盖一保护层；S2 在保护层表面涂覆光刻胶层并对光刻胶层处理预留出金属图形区域；S3 去除金属图形区域的保护层材料，裸露出目标材料；S4 在金属图形区域、目标材料表面蒸镀金属材料；S5 去除非金属图形区域的光刻胶，实现目标材料表面金属图形的制备。目标材料表面的保护层有效避免了光刻、清洗等过程中引入的污染；同时提高了金属图形和目标材料表面间的粘附性。 | ||
| 申请公布号 | CN106444293A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201610852489.4 | 申请日期 | 2016.09.27 |
| 申请人 | 易美芯光（北京）科技有限公司 | 发明人 | 曲晓东;朱浩 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人 | 施秀瑾 |
| 主权项 | 一种金属图形的制备方法，其特征在于，所述制备方法中包括：S1 在目标材料上覆盖一保护层；S2 在保护层表面涂覆光刻胶层并对所述光刻胶层处理预留出金属图形区域；S3 去除所述金属图形区域的保护层材料，裸露出目标材料；S4 在所述金属图形区域、目标材料表面蒸镀金属材料；S5 去除非金属图形区域的光刻胶，实现目标材料表面金属图形的制备。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区亦庄经济开发区科创十四街99号汇龙森科技园2号楼4层 | ||