工作台装置、输送装置、半导体制造装置以及检查装置

摘要

工作台装置（TS）具备：基座部件（1）；工作台（2），其配置在基座部件的上方；驱动系统（3），其能够沿着与第一轴、第二轴以及第三轴平行的方向移动工作台；活塞部件（4），其与工作台连接；缸部件（5），其配置在活塞部件的周围，对活塞部件以使其能够沿着与第一轴平行的方向移动的方式进行支承，并以能够沿着与第二轴以及第三轴平行的方向移动的方式支承于基座部件；第一轴承部件（6），其配置于缸部件，在与活塞部件的侧面之间形成气体轴承；第二轴承部件（7），其配置于缸部件，在与基座部件的导向面之间形成气体轴承；以及重力补偿装置（8），其具有对活塞部件的下表面所面对的缸部件的内部空间的下部空间提供气体的供给口。

主权项

一种工作台装置，其特征在于，包括：基座部件，其具有与规定面平行的导向面；工作台，其配置在所述基座部件的上方；驱动系统，其包括：在与正交于所述规定面的第一轴平行的方向上配置在所述基座部件与所述工作台之间并产生动力的致动器，所述驱动系统能够沿着与所述第一轴平行的方向、与所述规定面内的第二轴平行的方向以及与所述规定面内正交于所述第二轴的第三轴平行的方向移动所述工作台；活塞部件，其具有上表面、下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧面，其所述上表面侧的至少一部分与所述工作台连接；缸部件，其配置在所述活塞部件的周围，对所述活塞部件以使其能够沿着与所述第一轴平行的方向移动的方式进行支承，并以能够沿着与所述第二轴平行的方向以及与所述第三轴平行的方向分别移动的方式支承于所述基座部件；第一轴承部件，其配置于所述缸部件，在与所述活塞部件的侧面之间形成气体轴承；第二轴承部件，其配置于所述缸部件，在与所述基座部件的导向面之间形成气体轴承；以及重力补偿装置，其具有以面向所述活塞部件的下表面所面对的所述缸部件的内部空间的下部空间的方式被配置，并对所述下部空间提供气体的供给口。