一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构

摘要

本实用新型属于差分式微机械陀螺结构技术领域，具体涉及一种差分式微机械陀螺的正交误差补偿结构。一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构，其特征为：所述的结构包括左右对称的质量框，质量框包括驱动框和检测框，驱动框和检测框连接在一起，驱动框包括四组对称分布的分离式驱动梳齿，同一侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小不同，方向相同；分别位于两侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小之和相同，方向相反。正交耦合误差补偿结构简单，可降低差分式微机械陀螺加工制造工艺；可通过驱动环路抑制正交误差，控制策略简单；可减少对微机械陀螺有用面积的占用，提高微机械陀螺性能。

主权项

一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构，其特征为：所述的结构包括左右对称的质量框，质量框包括驱动框和检测框，驱动框和检测框连接在一起，驱动框包括四组对称分布的分离式驱动梳齿，同一侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小不同，方向相同；分别位于两侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小之和相同，方向相反。