一种电子束快速成型制造设备偏扫系统及控制方法

摘要

本发明涉及一种电子束快速成型制造设备偏扫装置及控制方法，其方法试验确定s、t扫描轴扫描轨迹夹角与直角的偏差角，贮存偏差角数值；电子束扫描区域按扇形或矩形规律进行分区；试验确定各小区特征点的偏转电流值，记录特征点的斜角坐标偏转指令；将特征点斜角坐标偏转指令变换成直角坐标指令，贮存特征点直角坐标偏转指令；根据电子束扫描轨迹依次计算各扫描点的直角坐标偏转指令；运行时，将直角坐标偏转指令转换成斜角坐标指令，经D/A转换后送至偏扫电源。相对现有技术，本发明能降低磁场的动态损耗,引入动态补偿功能抑制全磁路动态附加损耗对偏扫精度的影响。

主权项

一种电子束快速成型制造设备偏扫装置的控制方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1:测量s、t扫描轴扫描轨迹的实际夹角，计算s、t扫描轴扫描轨迹的实际夹角与直角90°的偏差角α，贮存偏差角α的数值；步骤2:对电子束(11)扫描区域按扇形或矩形规律进行分区；步骤3：确定各小区特征点的t绕组电源(5)电流值I_t，s绕组电源(4)电流值I_s，通过计算机控制单元控制偏扫装置(10)的励磁电流，使得电子束(11)偏转到小区特征点上，记录电子束(11)偏转到小区特征点上斜角偏转电流指令(s,t)；步骤4：将各特征点上斜角坐标偏转电流指令(s,t)通过坐标变换成直角坐标偏转电流指令(x,y),将直角坐标偏转电流指令(x,y)贮存于计算机控制单元内；步骤5：根据电子束(11)扫描轨迹依次计算各扫描点的直角坐标偏转电流指令(x,y)，分界线上的扫描点的直角坐标偏转电流指令(x,y)由该分界线的特征点数值以扫描坐标为因变量按线性变化进行计算，小区内各扫描点的直角坐标偏转电流指令(x,y)由该小区的特征点数值以扫描坐标为因变量按线性变化进行计算，在运行前进行离线计算各扫描点的直角坐标偏转电流指令(x,y)，并依次记录贮存于计算机控制单元内，或在运行时在线实时计算；步骤6：运行时，计算机控制单元根据电子束(11)扫描轨迹依次将各扫描点的直角坐标偏转电流指令(x,y)通过坐标变换成斜角坐标偏转电流指令(s,t),s轴指令经D/A转换成电压给定信号送至s绕组电源(4)，t轴指令经D/A转换成电压给定信号送至t绕组电源(5)。