摘要 |
本发明公开了一种半导体制程气体输送管道安装施工方法,包括以下步骤:(1)在施工现场预设洁净区域,并搭建洁净空间;(2)对施工用器材进行复验,并对所有器材进行防污染密封封存;(3)在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工,且加工完成立即密封管口;(4)安装输送管道,并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体;(5)按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道;(6)安装气体装置,并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接;(7)分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装;(8)分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测,直到全部合格;(9)进行尾气处理测试,直到合格。 |