通过由蒸汽相沉积和借助液体硅氧烷原料制造合成石英玻璃的方法

摘要

本发明涉及制造合成石英玻璃的方法，其包括步骤：(A)提供液体SiO₂原料(105)，其包含多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4，(B)将SiO₂原料(105)汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)，(C)将SiO₂原料蒸气(107)转化成SiO₂颗粒，(D)使所述SiO₂颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成SiO₂灰料体(200)，(E)使SiO₂灰料体(200)玻璃化，同时形成合成石英玻璃。根据本发明提出，汽化加热的SiO₂原料(105)包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在此将SiO₂原料(105)雾化成微滴，所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。

主权项

制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：(A) 提供液体SiO₂原料(105)，其具有多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4（八甲基环四硅氧烷）和附加组分D3（六甲基环三硅氧烷）和/或附加组分D5（十甲基环五硅氧烷），其中D3和D5在液体SiO₂原料的总重量中的重量比例之和在0.5重量%至3重量%的范围，(B) 将SiO₂原料(105)汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)，(C) 将SiO₂原料蒸气(107)转化成SiO₂颗粒，(D) 使所述SiO₂颗粒沉积在沉积面(160)上，形成外径大于300毫米的SiO₂灰料体(200)，(E) 使SiO₂灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃，其特征在于，所述SiO₂原料(105)的汽化包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在其中将SiO₂原料(105)雾化成微滴，其中所述微滴具有小于5微米的平均直径，其中所述汽化包括步骤：·加热SiO₂原料(105)，·将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中，以使至少第一部分的SiO₂原料(105)因压降而汽化，所述压降在1.8至5巴的范围。