一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装

摘要

一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装，包括设置在酸蚀槽内用于与酸进行热交换冷却的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷却水的进水管，若干薄壁四氟管和进水管之间通过转接机构连接，转接机构包括多孔接头和转换接头，在多孔接头内设置有多条与转换接头内通道连通的连接孔。本实用新型通过在多孔接头上设置若干与薄壁四氟管配合的连接孔，然后再用转换接头将这些连接孔与进水管连通，并在薄壁四氟管的管头内部设置具有锥度的胀管，通过胀管与连接孔的配合将薄壁四氟管固定在连接孔内，可以根据需要设置连接孔及薄壁四氟管的数量，具有结构简单、价格低廉、操作方便等优点，而且连接的可靠性和安全性能均比较好。

主权项

一种用于硅抛光片酸蚀的冷却工装，包括设置在酸蚀槽内用于与酸进行热交换冷却的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷却水的进水管，其特征在于：所述若干薄壁四氟管和进水管之间通过转接机构连接，所述转接机构包括多孔接头（1）和转换接头（2），其中，转换接头（2）的一端与进水管连接，另一端与多孔接头（1）连接，在多孔接头（1）内设置有多条与转换接头（2）内通道连通的连接孔（3），所述每条薄壁四氟管的管口内均设置有胀管（4），胀管（4）为表面具有锥度的套管，且所述连接孔（3）的内径介于胀管（4）两端直径之间，以使胀管（4）将薄壁四氟管固定在连接孔（3）内。