磁检测装置及其制造方法

摘要

目的在于提供一种实现小型化/薄型化的磁检测装置。本发明的磁检测装置(1)具备：基板(S)；第一磁阻抗元件(MI元件)，配设在基板的一面侧，由延伸的对第一轴方向的外部磁场分量进行感应的第一磁敏线(W1)和绕第一磁敏线卷缠的第一检测线圈(C1)构成。本发明的第一检测线圈由沿着第一磁敏线并存的左侧线圈部(C11)和右侧线圈部(C12)构成，本发明还具备由软磁性材料构成的磁场变向体(F1)，该磁场变向体(F1)在左侧线圈部与右侧线圈部的中间上将至少一部分配设于基板的另一面侧或该基板内，能够将与基板交叉的第三轴方向的外部磁场分量向第一轴方向的测定磁场分量变向。并且，基于从左侧线圈部得到的左侧输出和从右侧线圈部得到的右侧输出能检测第三轴方向的外部磁场分量。

主权项

一种磁检测装置，具备：基板；及第一磁阻抗元件，配设在该基板的一面侧，所述第一磁阻抗元件由延伸的对第一轴方向的外部磁场分量进行感应的第一磁敏线和绕该第一磁敏线卷缠的第一检测线圈构成，所述第一磁阻抗元件称为“MI元件”，所述磁检测装置的特征在于，所述第一检测线圈由沿着所述第一磁敏线并存的左侧线圈部和右侧线圈部构成，所述磁检测装置还具备由软磁性材料构成的磁场变向体，所述磁场变向体在该左侧线圈部和该右侧线圈部的中间上将至少一部分配设于所述基板的另一面侧或该基板内，能够将与该基板交叉的第三轴方向的外部磁场分量向具有该第一轴方向的分量的测定磁场进行变向，基于从该左侧线圈部得到的左侧输出和从该右侧线圈部得到的右侧输出能够检测该第三轴方向的外部磁场分量。