| 发明名称 | 一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及材料制备设备领域，具体而言，涉及一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备。一种超高真空催化装置包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置以及用于检测催化产物的四极质谱仪。超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通。该装置能够在真空环境下对团簇的气相催化性能进行实时检测，能够获得洁净团簇粒子的真实催化性能并对其催化机理进行研究。 | ||
| 申请公布号 | CN106435509A | 申请公布日期 | 2017.02.22 |
| 申请号 | CN201611155536.6 | 申请日期 | 2016.12.14 |
| 申请人 | 盐城工学院 | 发明人 | 张勤芳;王保林;樊乐乐;朱雷;王珏;孟强强;侯贵华;罗改霞 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人 | 李佳 |
| 主权项 | 一种超高真空催化装置，其特征在于，包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置、以及用于检测催化产物的四极质谱仪；超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通。 | ||
| 地址 | 224000 江苏省盐城市世纪大道1166号研创大厦 | ||