一种大行程六自由度磁浮磁驱纳米定位平台

摘要

本发明公开了一种大行程六自由度磁浮磁驱纳米定位平台，包括定位平台本体和定位平台控制器。定位平台本体包括动平台和静平台。动平台包括三个电磁驱动单元的动子部分，光栅尺读数头，气浮模块。静平台包括三个电磁驱动单元的定子部分，平面光栅尺，电容位移传感器，接近开关和防撞模块。动平台中的三个动子模块和静平台中的三个定子模块通过位置配合构成三个电磁驱动单元，三个电磁驱动单元在定位平台控制器的作用下完成定位平台纳米级定位。本发明所述大行程六自由度纳米定位平台在主运动方向行程大，其余方向运动幅度小，平台整体具有结构简单、直接驱动、无摩擦、无迟滞和无回空间隙等优点，在几十毫米运动行程内达到纳米级的定位分辨率。

主权项

一种大行程六自由度磁浮磁驱动纳米定位平台，其特征在于，包括定位平台机械本体和定位平台控制器，所述定位平台机械本体包括动平台和静平台，其中，所述动平台包括三个电磁驱动单元的动子部分，光栅尺读数头，气浮模块，所述静平台包括三个电磁驱动单元的定子部分，平面光栅尺，三个电容位移传感器，接近开关和防撞模块。