形成光纤耦合装置的方法和光纤耦合装置

摘要

本申请提供形成光纤耦合装置的方法，所述光纤耦合装置包括衬底，所述衬底具有衬底表面和至少一个光电和/或光子元件，并且进一步包括光学透射的至少一个光纤耦合对准结构。一种方法包括：a)将可聚合材料施加至所述衬底表面，b)使用3D刻蚀方法来使所述可聚合材料的区域选择性聚合以便将所述可聚合材料的所述区域转化成聚合物材料，从而形成至少一个光纤耦合对准结构，以及c)清洁所述衬底和所述聚合物材料以除去剩余未聚合的可聚合材料，从而暴露所述光纤耦合装置的所述至少一个光纤耦合对准结构。

主权项

一种形成光纤耦合装置的方法，所述光纤耦合装置包括衬底，所述衬底具有衬底表面和至少一个光电和/或光子元件，并且进一步包括光学透射的至少一个光纤耦合对准结构，其中所述方法至少包括：a)将可聚合材料施加至所述衬底表面和/或所述至少一个光电和/或光子元件，b)使用3D刻蚀方法来使所述可聚合材料的区域选择性聚合以便将所述可聚合材料的所述区域转化成聚合物材料，从而形成至少一个光纤耦合对准结构，所述光纤耦合对准结构包括以下中的至少一个：‑支撑接口表面，在此表面处所述聚合物材料与所述衬底表面和/或所述至少一个光电和/或光子元件直接接触，‑光纤支撑区域，所述光纤支撑区域适于支撑处于光学耦合至所述衬底和/或所述至少一个光电和/或光子元件的对准位置中的至少一个光纤，和/或‑至少一个反射表面，所述反射表面用于反射在至少一个光纤与所述衬底的所述至少一个光电和/或光子元件之间传播的光，以及c)清洁所述衬底和所述聚合物材料以除去剩余未聚合的可聚合材料，从而暴露所述光纤耦合装置的所述至少一个光纤耦合对准结构。