用于流动影响的微电子模块、模块阵列和方法

摘要

本发明涉及用于流动影响的微电子模块、模块阵列和方法。说明用于影响流体的流动的微电子模块。所述模块具有至少一个电压转换器，所述电压转换器用于将所提供的第一电压转换成更高的、更低的或相同的第二电压。所述模块进一步具有至少一个主动流动影响元件，所述主动流动影响元件用于影响环流和/或溢流所述流动影响元件的流体的方向和/或速度。至少所述电压转换器和所述主动流动影响元件被布置在薄层的平面的衬底上。流体的方向和/或速度的影响依赖于根据由所述电压转换器提供给所述流动影响元件的第二电压的流体动力加速度。

主权项

用于影响流体的流动的微电子模块（100），所述微电子模块具有：至少一个电压转换器（101），所述电压转换器用于将所提供的第一电压（V1）转换成更高的、更低的或相同的第二电压（V2）；至少一个主动流动影响元件（103），所述主动流动影响元件用于影响环流和/或溢流所述主动流动影响元件（103）的流体的方向和/或速度；其中至少所述电压转换器（101）和所述主动流动影响元件（103）被布置在薄层的平面的衬底（104）上；其中所述流体的方向和/或速度的影响依赖于根据由所述电压转换器（101）提供给所述主动流动影响元件（103）的第二电压（V2）的流体动力加速度。