METHOD FOR FABRICATING A METALLIC NANO-PATTERN USING A TEMPLATE HAVING AN OPENING

摘要

금속나노패턴 제조방법에서 기판의 상면에 금속층을 형성한다. 개구부가 형성된 템플릿(template)을 상기 기판 상에 고온, 고압으로 합착시킨다. 상기 템플릿이 상기 기판의 금속층에 고온, 고압으로 합착함에 따라, 상기 금속층의 금속을 클러스터링(clustering)시킨다. 상기 개구부에 대응되는 위치의 금속이 클러스터링되며 상기 기판 상에 잔류하여, 금속패턴을 형성한다.